應用於真空係統的橡膠主要有兩（liǎng）大類：硫化橡膠（jiāo）和（hé）合成橡膠（包（bāo）括丁（dīng）基（jī）、氯基、丁晴橡膠），此外還有矽酮橡膠和氟橡膠。除了正確的密封結構設計，合理選擇（zé）密封材料也（yě）是實現（xiàn）真空橡膠密封的關鍵。幾個主要因素（sù）會影響真空（kōng）密封，包括橡膠的耐熱（rè）性、耐壓縮變形性、漏氣率、氣透性、出氣率以及升華（huá）（失重）。

耐熱性：在真（zhēn）空係統中，橡膠密封件必須具備一定耐熱性，以確保烘烤去氣的順利進行。烘烤溫度在120℃以下和10^-5Pa的真空度下，可采用丁基（jī）或丁晴橡膠；若要求烘烤溫度更高且（qiě）在超高真（zhēn）空環境中工作，則需采用氟橡膠（jiāo）。

耐壓縮變形性：在真空係統中，大多數真空密封件都在壓縮狀態下工作。為了確保（bǎo）密封件的可靠性和壽命，橡膠密封件應具有較小的（de）壓縮變形值（最好小於35%），並具有緩慢的壓（yā）縮應力鬆弛程度（即壓縮（suō）應力鬆弛係數較大）。

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